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- 株式会社村田制作所（以下简称“村田”）宣布，成功开发出面向工业设备的数字三轴 MEMS （1）加速度传感器“SCA3400系列”。该系列产品在长期使用过程中的偏移寿命漂移（2）值控制在 0.5mg（毫伽）以下，在业内处于居先水平（3），具备优异的耐久性和长期稳定性，适用于桥梁、建筑等结构物的劣化监测系统，预计将于2025年10月开始量产。注释1.MEMS（微机电系统）：一种通过对硅片等材料进行精密加工，集成传感器结构与电子电路的微型化制造技术。2.偏移寿命漂移：指传感器在长期使用过程中，其输出值随时间发生
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村田 MEMS加速度传感器
mems加速度传感器介绍
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